HR30-IIA2
性能參數(shù)
| 大氣壓 | 70~106KPa |
|---|
| 工作臺(tái)面中心振動(dòng)靜位移μm(rms) | 0.6 |
|---|
| 主過(guò)濾器類別 | ULPA |
|---|
| 人員保護(hù) | 6.89*100000 |
|---|
| 主過(guò)濾器效率 | 99.9995%@0.12μm |
|---|
| 下降氣流速度(m/s） | 0.30 |
|---|
| 流入氣流速度(m/s） | 0.58 |
|---|
| 外排風(fēng)量（m3/h） | 360 |
|---|
規(guī)格
| 工作室內(nèi)表面材質(zhì) | SUS304 |
|---|
| 重量（Kg） | 180 |
|---|
| 腳輪 | 有 |
|---|
| 柜內(nèi)插座配置（防濺插座個(gè)數(shù)） | 1個(gè) |
|---|
| 固定底腳 | 可調(diào)高度75mm，無(wú)裸露螺紋 |
|---|
功能參數(shù)
| 過(guò)濾器阻塞報(bào)警 | 有 |
|---|
| 過(guò)濾器破損報(bào)警 | 有 |
|---|
| 前窗玻璃防紫外線 | 有 |
|---|
